2020年7月31日
最新の枚葉式洗浄装置「SU-3300」
「最優秀賞」受賞者
（株）SCREENホールディングスはこのほど、京都府が主催する「第64回京都府発明等功労者表彰」において、「レジスト除去方法およびレジスト除去装置の発明（特許第4672487号）」が、29件の「発明考案功労者」の中から「最優秀賞」を受賞したと発表した。
「京都府発明等功労者表彰」は、発明考案・創意工夫の重要性を広くアピールし、科学技術の発展および発明考案・創意工夫に対する意欲の向上を図ることを目的に、1957年から毎年開催されている。
今回受賞した発明は、硫酸過酸化水素水を用いたレジストの除去工程後に、純水の代わりに過酸化水素水を供給することで、基板の表面に残留する硫酸などを押し流して効率的に排除する方法を考案。これにより、パーティクルの発生およびヒートショックによるパターン倒壊を抑制し、（株）SCREENセミコンダクターソリューションズが手掛ける枚葉式洗浄装置の性能向上に寄与したことが高く評価された。
なお、同装置は、最先端のロジック・メモリーデバイスをはじめ、車載用パワーデバイスやIoT用通信デバイスなど、幅広い分野の製造工程で使用されており、市場での高い評価を得ている。
